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    NX-Hivac
    High vacuum AFM for failure analysis
    The world's most accurate
    and easy to use AFM
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Park NX-Hivac

결함분석을 위한 고진공 원자현미경(AFM)

Park NX-Hivac은 고진공 주사형 확산저항 현미경 (Scanning Spreading Resistance Microscopy) 을 통해 측정 민감도를 향상시킵니다. 고진공 환경에서의 측정은 공기 중이나 수분이 제거된 질소가스에서의 측정 보다 더 높은 정확도 및 재현성을 실현합니다. 동시에 탐침(tip)과 시료의 손상은 적기 때문에 사용자들은 다양한 결함분석 응용분야에서 광범위한 도프(dope) 농도 및 신호 응답을 측정할 수 있습니다.

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고진공 조건에서 SSRM (Scanning Spreading Resistance Microscopy) 측정을 하면 탐침(Tip)-샘플 사이의 상호작용력이 감소되어 탐침(tip)과 샘플의 손상을 크게 줄일 수 있습니다. 이를 통해 탐침(tip)의 수명이 연장되므로 저렴하고 편리한 측정이 가능하고 signal-to-noise 비율을 향상 시켜 보다 정확한 결과를 얻게 됩니다. 그러므로 NX-Hivac을 이용한 SSRM (Scanning Spreading Resistance Microscopy) 측정은 처리속도를 높이고 비용을 줄이며 정확도를 높이고자 하는 결함분석 엔지니어에게 탁월한 선택입니다.

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Park Hivac Manager

NX-Hivac 자동 진공 제어

고진공은 Hivac Manager에 의해 제어되고, 버튼 한 번의 클릭으로, 최적화 된 진공상태를 위한 펌핑과 벤팅과정을 논리적, 시각적으로 제어할 수 있습니다. 이때의 각 과정은 색상 및 회로도 변경이 시각적으로 모니터링 됨으로 버튼을 클릭 한 후 (눈으로 확인 되지 못했던) 진공 작동 과정에 대해 염려 할 필요가 없습니다. 더 빠르고 쉬워진 진공 제어 소프트웨어는AFM 작동을 보다 편리하고 생산성을 높여 줍니다.

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고급 자동화 기능

NX-Hivac에는 사용자가 필요로 하는 입력을 최소화 하는 다양한 도구들이 있다는 점이 특징적입니다. 즉 사용자는 측정 속도를 높이고 그에 따라 실험 처리량을 높일 수 있습니다.

 

StepScan의 자동화

Stepscan은 사용자가 여러 영역을 빠르고 쉽게 샘플을 측정 할 수 있도록 프로그램밍을 할 수 있는 기능을 제공합니다. NX-Hivac은 1) 스캔(Scan), 2)캔틸레버(cantilever) 들어올리기, 3)자동스테이지를 사용자 지정한 좌표로 옮기기, 4) 접근(Approach), 5) 반복(repeat) 5단계로 간단히 측정할 수 있습니다. 이와 같이 요구되는 사용자 입력을 최소화하여 생산성을 크게 증진 시킵니다.

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레이저 정렬 자동화

Park의 자동화된 레이저 빔 정렬을 통해 사용자는 아무런 입력 없이 계속 자동 측정하여 원활하게 진행할 수 있습니다. 당사가 제공하는 켄틸레버 홀더(pre-aligned cantilever holder)로 레이저 빔은 탐침(tip) 교환시에 캔틸레버(Cantilever)에 초점을 맞추고 전동 손잡이 제어 장치에 의해 레이저 스팟은 X와 Y축에 따라 최적화 됩니다.

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정확도와 생산성 향상

NX-Hivac은 세계에서 가장 정확한 고성능 원자현미경(AFM)이며, 뿐만 아니라 결함 분석 응용 분야에서도 사용하기 쉽고 편리한 원자현미경(AFM)임을 확신 합니다. Park NX-Hivac을 사용하면 당신의 생산성과 결과에 대한 신뢰도가 향상 될 것입니다.

 

XY (Closed-loop) 및 Z스캐너

샘플과 프로브 팁을 위한 두 개의 독립된 XY 그리고 Z 스캐너를 사용하면 매우 정확한 스캔 결과를 얻을 수 있습니다. NX-Hivac은 전체 측정 범위에서 1nm 미만의 평면 모션과 직교 XY스캐닝을 제공합니다. 또한 고속 Z스캐너는 15 μm의 스캔범위와 비선형 성이 0.5% 미만입니다. 이는 소프트웨어 처리가 할 필요 없이 정확한 2D와 3D측정할 수 있습니다.


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저소음 XYZ 위치 센서

NX-Hivac은 Park AFM의 업계 최고의 저소음 Z감지기 의해 저소음 XY 스캔(Closed-loop)은 앞뒤 스캔 간격을 0.15%미만으로 최소화 하는 동안 샘플 지형(Topography )를 정확하게 측정합니다.


24-bit Digital Electronics

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NX-Hivac를 주력으로 하는 자사의 NX 시리즈 전자 제어장치(controller)를 이용해 당신의 시간을 절약하고 정확성을 극대화 하십시오. 자사의 전자제어장치(controller)는 모두 디지털로 되어있으며 24비트의 고속장치로 사용자들이 자사의 True Non-contact모드를 포함한 광범위한 스캔 범위를 수행할 수 있도록 합니다. 저소음 설계와 고속 처리 장치를 갖춘 이 제어장치(controller)는 정밀 전압 및 전류 측정은 물론 나노 단위의 측정에도 이상적입니다. 또한 전자 제어장치는 디지털 신호 처리기능이 있어 사용자들이 측정한 것을 보다 쉽게 분석할 수 있습니다.

 

Specification

Scanner

XY scanner: 50 μm × 50 μm (100 μm x 100 μm optional)
Z scanner: 15 μm

Vision

Direct on-axis vision of sample surface and cantilever
Field-of-view: 840 μm × 630 μm (with 10 × objective lens)
CCD: 5 M pixel

Sample Stage

Size: Open space up to 100 mm x 100 mm using single sample and 10 mm x 10 mm using multi samples, thickness up to 20 mm
XY stage travel range: 22 mm x 22 mm
Z stage travel range: 24 mm
Focus stage travel range: 11 mm

High Vacuum

Vacuum level: Typically less than 1 x 10-5 torr
Pumping speed: Reach to 10^-5 torr in about 5 min using Turbo & Dry pump

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Electronics

Signal processing

ADC: 18 channels
24-bit ADCs for X, Y, and Z scanner position sensor
DAC: 17 channels
20-bit DACs for X, Y, and Z scanner positioning


Integrated functions

4 channels of flexible digital lock-in amplifier Spring constant calibration (Thermal method) Digital Q control

Software

Park SmartScan™

AFM system control and data acquisition software
Auto mode for quick setup and easy imaging
Manual mode for advanced use and finer scan control


XEI

AFM data analysis software
Stand-alone design—can install and analyze data away from AFM
Capable of producing 3D renders of acquired data


Hivac Manager

Auto vacuum control software

Options/Modes

Topography Imaging

Non-Contact
Contact
Tapping

Magnetic Properties

Magnetic Force Microscopy (MFM)

Dielectric/Piezoelectric Properties

Piezoresponse Force Microscopy (PFM)
PFM with High Voltage
Piezoresponse Spectroscopy

Mechanical Properties

PinPoint Nanomechanical
Force Modulation Microscopy (FMM)
Nanoindentation
Nanolithography
Nanolithography with High Voltage
Nanomanipulation
Lateral Force Microscopy (LFM)
Force Distance (F/d) Spectroscopy

Electrical Properties

Conductive AFM (C-AFM)
I/V Spectroscopy
Kelvin Probe Force Microscopy (KPFM)
KPFM with High Voltage
Scanning Capacitance Microscopy (SCM)
Scanning Spreading-Resistance Microscopy (SSRM)
Scanning Tunneling Microscopy (STM)
Electrostatic Force Microscopy (EFM)

Thermal Properties

Scanning Thermal Microscopy (SThM)

Chemical Properties

Chemical Force Microscopy with Functionalized Tip

 
 

Park NX-Hivac