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파크시스템스가 세계적인 IT 매거진 CIO Review가 선정한 ‘2018년 최고 유망 반도체 기술 솔루션’ 상위 20대 업체에 선정되었다. CIO Review의 Jeevan George 편집장은 “선정된 업체들은 반도체 기술 솔루션을 제공하고 시장에 큰 영향력을 준 선도기업이라 할 수 있다. 파크시스템스는 고객 니즈와 성능요건 충족에 집중적으로 매진하여 반도체 계측 솔루션을 개발한 결과 업체 선정의 영예를 안았다”라고 설명했다.

< Park NX-Wafer 반도체 산업용 자동 원자 현미경>

결함 감지 및 분석을 위한 완전 자동화 AFM 솔루션은 결함 리뷰 자동화 기능을 탑재한 유일한 웨이퍼 팹 AFM 솔루션으로서 처리량을 최대 1,000%까지 향상시킨다.

파크시스템스의 인라인 반도체 제조 프로세스는 전세계 주요 반도체 제조사는 물론 세계적인 연구기관인 벨기에의 Imec과의 협업을 통해 개발되어 혁신성과 우수성이 입증되었다. Imec 연구원 김태곤 박사는 “파크시스템스가 개발 생산한 원자현미경은 나노구조의 비파괴적 계측에 대한 특허 설계 기술 및 하이브리드 계측 기술을 도입하여 차세대 인라인 계측 솔루션으로 빠르게 자리잡고 있다”라고 언급했다.

세계 top 5 반도체 제조사를 포함한 전세계 유수의 동종 분야 제조사들은 증가하는 나노스케일 현미경의 필요성을 체감하고 파크시스템스와의 전략적 기술 제휴를 앞다투고 있다. 특히 베어웨이퍼(bare wafer) 생산을 위한 Park NX-Wafer 등 혁신적인 AFM 시스템은 결함에 대한 검토 프로세스를 완전히 자동화하고 처리량을 1,000%까지 증가시킨다.

파크시스템스는 반도체 생산을 위한 자동화된 산업용 AFM 솔루션 부문에서 지속적으로 빠른 진전을 보이면서 프로세스 개발, 생산, 결함 분석에 있어 기존 광학 계측을 보완하는 솔루션을 개발하고 있다. 또한 고해상도 3D AFM 계측을 위한 새로운 애플리케이션을 개발하여 생산수율과 제품성능을 대폭 개선하고 있다.

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